三維偏振XRF （能量色散X射線熒光）因使用了極化靶使其與傳統(tǒng)的能量色散XRF不同。
Epsilon 5
降低背景
Epsilon 5
??? Epsilon 5是極化EDXRF譜儀，其光路核心是3維或稱笛卡兒幾何光路所定義的3維取向。來自光管的初級(jí)光束(黃色)激發(fā)到第一個(gè)軸向的極化靶.經(jīng)過90散射，X向第二軸向向前進(jìn)（藍(lán)色）到達(dá)樣品。樣品產(chǎn)生的光品被探測(cè)器接收，探測(cè)器在第三軸向位置（粉色）。
降低背景
??? 通過極化該幾何光路消除了X射線光管的光譜，因此極大降低了光譜背景，背景比傳統(tǒng)的2維光路的背景低了一個(gè)數(shù)量級(jí)，獲得更低的檢出限。
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二次靶
??? 極化靶提供了進(jìn)一步的優(yōu)點(diǎn)，盡管一些靶材料能散射自X光管到達(dá)樣品的輻射，而另一些材料的熒光產(chǎn)額高，幾乎是能單色激發(fā)樣品。通過使用不同材料的靶材，有可能優(yōu)化激發(fā)源，尤其是針